[ Article ]

JOURNAL OF SENSOR SCIENCE AND TECHNOLOGY - Vol. 30, No. 3, pp.131-138

ISSN: 1225-5475 (Print) 2093-7563 (Online)

Print publication date 31 May 2021

Received 20 Apr 2021 Revised 26 Apr 2021 Accepted 11 May 2021

DOI: https://doi.org/10.46670/JSST.2021.30.3.131

구속계수와 감지도에 기반한 집적광학 바이오케미컬 센서에 적합한 수직 SOI 슬롯 광 도파로 최적화

정홍식¹^{, +}

1홍익대학교 전자전기융합공학과

Optimization of vertical SOI slot optical waveguide with confinement factor and sensitivity for integrated-optical biochemical sensors

Hongsik Jung¹^{, +}

1Dept. of Electronic & Electrical Fusion Engineering, College of Science and Technology, Hongik University, 2639, Sejong-ro, Jochiwon-eup, sejong-si, 30016, Korea

Correspondence to: ⁺ hsjung@hongik.ac.kr

This is an Open Access article distributed under the terms of the Creative Commons Attribution Non-Commercial License(https://creativecommons.org/licenses/by-nc/3.0/) which permits unrestricted non-commercial use, distribution, and reproduction in any medium, provided the original work is properly cited.

Abstract

The optimization of the specifications of vertical silicon on insulator (SOI) slot optical waveguides suitable for integrated-optical biochemical sensors was performed through computational analysis of the confinement factor of the guided mode distributed in the slot in addition to analytical examination of the TE mode. The optimized specifications were confirmed based on sensitivity in terms of the change in the refractive index of the biochemical analyte. When the slot width, rail width, and height were set to 120 nm, 200 nm, and 320 nm, respectively, the confinement factor was evaluated to be about 56% and the sensitivity was at least 0.9 [RIU/nm].

Keywords:

Slot optical waveguide, Integrated optical biochemical sensor, Label-free, Confinement factor, Sensitivity, Mode matching numerical analysis

1. 서 론

지난 20여년동안 집적광학 바이오케미컬(biochemical) 센서는 생화학, 건강 및 환경 응용 분야에서 바이오케미컬 물질들을 감지하기 위한 뛰어난 도구로 인식되어 많은 연구가 진행되어왔다. 집적광학 센서는 광파의 강도, 파장, 위상 및 편광 등과 같은 다양한 물리적 파라미터들을 변환매개로 활용해서 분석물질(analyte)들을 모니터링 할 수 있으며, 그리고 원격 및 다중 감지, 전자파 간섭에 대한 내성 등과 같은 고유한 특징들을 보유하고 있다. 더군다나 잘 개발된 다양한 수동 및 능동 광 집적부품들과 관련 기술들을 센서에 활용할 수 있다 [1-3].

광파를 기반으로 하는 바이오케미컬 센서는 레이블(label) 기반 감지(sensing)와 레이블이 없는 감지방식으로 크게 구분된다. 전자 경우에는 형광 또는 광 흡수 마커(maker)를 통해서 표적 분자 또는 생체인식 분자를 감지해서 특정 샘플 분자의 존재를 정량화된 수치로 측정이 가능하나, 복잡한 액체 취급 및 레이블 공정, 상대적으로 긴 분석시간과 부피가 큰 측정장치 그리고 숙련된 전문가가 필요하다. Fig. 1(a)와 같은 표면-센싱이 대표적인 레이블 기반 감지원리에 해당된다. 한편 Fig. 1(b)와 같이 라벨이 없는 (label-free) 감지방식에서는 표적분자의 굴절률을 실시간으로 모니터링 할 수 있기 때문에 현장에서 활용할 수 있는 바이오케미컬 센서로 매우 매력적으로 인식되어 집중적으로 많은 연구가 진행되어 왔다 [4,5].

Fig. 1.

Two biosensor schematics with concept of evanescent-wave in integrated optical waveguide for (a) surface sensing and (b) homogeneous (bulk) sensing.

이와 같이 평면 광 도파로에 기반한 집적광학 센서는 벌크(bulk) 광학장치 및 광섬유 기반 센서들에 비해서 중요한 장점들을 가지고 있다. 평면 광 도파로는 표준 포토- 리소그래피(photo-lithography) 기술을 사용하기 때문에 제조가 용이하여 저비용, 대량생산이 가능하고, 여러 분석 물질을 동시에 감지가 가능하도록 단일 기판에 여러 광 도파로 기반 감지 센서들을 통합 할 수 있다. 더군다나, 매우 잘 확립된 마이크로 일렉트로닉스 공정프로세스(즉 CMOS 기술)를 활용할 수 있으며, 궁극적으로는 센서들을 동일한 CMOS 칩의 전자모듈들과 통합해서 센서를 칩-레벨 수준으로 집적화가 가능하다 [6,7].

대부분의 실리콘계열 집적광학 바이오센서들은 Si/SiO₂또는 Si₃N₄/SiO₂ 기반의 고 굴절 대비(high index contrast) 물질체계들로 기반한 릿지(ridge) 또는 립(rib) 광 도파로들을 활용해서 다양한 구조로 센서들을 구현하여 왔다 [8,9]. 이렇게 제작된 광 도파로들은 저 굴절률 물질 (즉 클래딩)로 둘러싸인 고 굴절률 물질(코어)의 내부 전반사(TIR: Total Internal Reflection)에 의해서 코어에 광파 대부분을 강하게 가두고 있지만 클래딩 영역에도 일부의 광파가 존재하는데 이것을 소산파(evanescent wave)라 일컫는다. 따라서 미약한 소산파가 존재하는 클래딩 영역을 생체 분석물질로 구성할 경우, 소산파를 통해서 기본 도파모드의 유효굴절률에 영향을 미치게 되고, 이로부터 광파의 세기, 위상, 편광 등을 모니터링 해서 분석물질을 감지하게 된다. 그러나 소산파 자체가 미약하기 때문에 근본적으로 큰 감지도(sensitivity)를 기대하기는 어렵다.

한편 2004년 Almeida 등이 슬롯 광 도파로 구조를 제안된 이후 이를 바이오케미컬 센서에 활용하려는 연구가 지난 15년 동안 많은 관심과 함께 연구가 진행되어 왔다 [10]. 슬롯 광 도파로의 경우 기본모드의 많은 필드(field)분포가 두 개의 고 굴절률 레일 사이에 존재하고, 저 굴절률 슬롯 영역을 통해서 전파된다. 즉 정량적인 관점에서 레일과 슬롯 경계 면에서 전기장의 불연속성으로 인해 모드필드의 상당 부분이 슬롯에 존재하게 된다. 따라서 슬롯을 레일보다 굴절률이 작은 생체 분석물질로 구성할 경우 슬롯을 통해서 전파되는 기본모드와 더 강한 상호작용이 일어나서 우수한 감지특성을 기대할 수 있다 [11-13].

슬롯 광 도파로는 수직-슬롯 [14] 및 수평-슬롯 광 도파로 [15] 구조로 각각 구분되며, 수직, 수평 슬롯 광 도파로의 변형된 구조로 릿지-슬롯 [16]과 부하(loaded)-슬롯 [17]으로 구분된다. 바이오케미컬 센서 구조로는 수직-슬롯과 릿지-슬롯 광 도파로 두 구조가 적합하며, 수직 슬롯 광 도파로 기반의 바이오케미컬 센서 중심으로 전산해석을 수행하였다 [18,19].

따라서 본 논문에서는 수직-슬롯 광 도파로의 제원 (즉 레일의 두께 및 높이, 슬롯 폭)들이 슬롯에 분포되는 광파모드의 필드 및 세기(intensity)에 미치는 영향을 구속지수(confinement factor)를 통해서 먼저 검토하였다. 이로부터 바이오케미컬 센서에 최적화된 슬롯 광 도파로 구조를 도출하고, 이 구조를 적용해서 생체감지 물질의 굴절률 변화에 따른 슬롯에 구속된 광파의 유효굴절률에 미치는 정도를 활용해서 감지능력을 평가하였다. 이어지는 2장에서 수직-슬롯 광 도파로에 Maxwell 파동방정식을 적용해서 모드필드를 이론적으로 검토하였고, 3장에서 Photon Design의 FIMMWAVE, FIMMPROP을 이용해서 수직-슬롯 광 도파로의 제원이 슬롯에서 모드필드 분포에 미치는 영향을 체계적으로 검토하였다 [20]. 4장에서는 최적화된 슬롯 광 도파로에서 생체감지 물질의 굴절률 변화에 따른 기본모드의 유효굴절률 변화를 기반으로 감지도를 평가하였으며, 5장에서 결론으로 마무리 하였다.

2. 수직-슬롯 광 도파로의 모드 해석

Fig. 2는 굴절률이 ns인 슬롯 양 옆으로 n_H>n_S 조건을 만족하는 레일로 구성된 슬롯 광 도파로의 2차원 단면이다. 슬롯 영역에서 광파의 모드필드가 레일영역의 모드파워 보다 더 많이 분포되어 도파되는 현상을 아래와 같은 Maxwell의 파동방정식과 x=a, -a 두 경계에서 모드필드가 연속됨을 보장하는 경계조건 (2-1), (2-2)를 적용해서 TE (Transverse Electric) 모드, E_y(x)를 유도하였다. 유도된 모드의 필드분포를 활용해서 슬롯에 분포되어 있는 모드파워의 비율을 구속계수를 통해서 정량적으로 확인하였다. 광파모드 유도와 관련된 수식 전개는 많은 논문에서 확인할 수 있기 때문에 본 연구에서는 매우 함축적으로 서술하였다[21-23]. 슬롯 및 레일 영역에서 필드분포는 필드패턴이 hyperbolic-cosine 또는 hyperbolic-sine 함수인지에 따라 달라지기 때문에 각 영역에서 굴절률과 필드분포를 hyperbolic-cosine 함수로 먼저 가정 하고 필드분포를 아래와 같이 해석하였다.

d 2 E y d x 2 + k 02 n 2 - β 2 E y = 0

(1)

E y 1 a = E y 2 a

(2-1)

∂ E y 1 x ∂ x x = a = ∂ E y 2 x ∂ x x = a

(2-2)

Fig. 2.

Cross-section of slot optical waveguide for an analysis of optical mode.

따라서 슬롯, 레일, 클래드 각 영역에서 정의된 전파상수(propagation constant)들과 식 (1)을 만족하는 일반적인 필드분포는 아래 식 (3), (4)와 같이 나타낼 수 있다.

r 1 = β 2 - k 02 n s 2

(3-1)

r 2 = k 02 n H 2 - β 2

(3-2)

r 3 = β 2 - k 02 n c 2

(3-3)

E y x = A 1 cosh ⁡ r 1 x i f x < a A 2 cos ⁡ r 2 x - a + B 2 sin ⁡ r 2 x - a i f a < x < b A 3 e - r 3 x - b i f b < x

(4)

식 (4)에 경계 조건 (2-1)과 (2-2)를 각각 적용할 경우, 아래와 같이 hyperbolic-cosine 형태로 필드분포는 식 (5)로 유도된다.

E y x = A 1 cosh ⁡ r 1 x i f x < a cosh ⁡ r 1 a cos ⁡ r 2 x - a + r 1 r 2 sinh ⁡ r 1 a sin ⁡ r 2 x - a i f a < x < b cosh ⁡ r 1 a cos ⁡ r 2 b - a + r 1 r 2 sinh ⁡ r 1 a sin ⁡ r 2 b - a * e - r 3 x - b i f b < x

(5)

한편, 슬롯에서 모드필드를 hyperbolic-sine으로 가정하고, 위와 같이 경계 조건들을 적용할 경우 아래 식 (6)과 같이 필드분포를 얻게 된다.

E y x = A 1 1 n c 2 sinh ⁡ r 1 x i f x < a x x sinh ⁡ r 1 a cos ⁡ r 2 x - a + r 1 r 2 x x cosh ⁡ r 1 a sin ⁡ r 2 x - a i f a < x < b x x sinh ⁡ r 1 a cos ⁡ r 2 b - a + r 1 r 2 cosh ⁡ r 1 a sin ⁡ r 2 b - a * e - r 3 x - b i f b < x < a

(6)

따라서 레일 굴절률(=n_H)이 슬롯 굴절률(=n_S)보다 큰 경우, |E_S/E_H|=(n_H/n_S)²관계에 의해서 슬롯에서 필드분포가 훨씬 더 크게 형성됨을 확인할 수 있다. 또한 슬롯 폭(width)이 필드의 감쇠 길이와 비슷하기 때문에 슬롯에서 모드필드의 세기는 슬롯 전체에 걸쳐 높게 유지되는 장점이 있다.

3. 구속계수에 의한 슬롯에서 모드분포 최적화

슬롯 광 도파로를 바이오케미컬 센서에 적용하기 위해서 슬롯영역에서 광파의 기본(fundamental)모드 필드분포가 클수록 분석물질의 많은 영향을 받기 때문에 감지도를 향상시킬 수 있다. 따라서 분석물질의 굴절률 범위 안에서 기본 모드의 많은 부분이 슬롯을 통해서 전송될 수 있도록 슬롯 광 도파로의 제원을 결정하는 것이 중요하다. 슬롯 폭, 그리고 레일의 두께 및 높이들이 슬롯에 형성되는 모드분포에 어떻게 영향을 미치는지를 “Photon Design”의 FIMMWAVE, FIMMPROP 소프트웨어를 활용한 전산해석으로 TE 모드의 구속계수를 통해서 체계적으로 검토하였다 [20].

Fig. 3과 같은 광 도파로 구조에서 슬롯에 채워진 바이오케미컬 분석물질들을 공기(n_s=1), H₂0(n_s=1.31), Isopropanol(n_s=1,377), Ethylene-Glycol (n_s=1.5050) 그리고 Sodium-Chloride (n_s=1.5443)로 선택해서 전산해석을 수행하였다. 우선 레일의 폭과 높이를 각각 200 nm, 320 nm로 설정하고, 슬롯의 폭을 40 nm에서 200 nm까지 증가시키면서 슬롯에 기본 모드의 필드분포 비율을 아래와 같이 정의되는 구속계수 (7)을 통해 도출하였다 [12,13].

Γ = ∫ s l o t R e E × H * ⋅ z d x d y ∫ t o t a l R e E × H * ⋅ z d x d y

(7)

Fig. 3.

Cross-sectional schematic of slot optical waveguide for computational analysis.

Fig. 4(a)는 슬롯 폭이 증가함에 따라 전반적으로 구속계수가 증가하다가 감소하는 경향을 보이고 있다. H₂O와 Isopropanol인 경우에는 슬롯 폭이 대략 60nm 정도에서 구속계수가 대략 0.58 이상의 높은 값을 나타낸 후 빠르게 감소하고 있음을 보여준다. 한편 Ethylene Glycol과 Sodium-Chloride는 100−120 nm 폭에서 구속계수가 평탄한 최대값을 보이다가 완만하게 감소됨을 알 수 있다. Fig. 4(a)에서 관찰할 수 있듯이 최대값 이후 구속 계수가 감소하는 이유는 슬롯의 폭이 넓어짐에 따라 광파의 많은 부분이 슬롯 보다는 오히려 SOI 광 도파로 역할을 하는 레일을 통해서 전송되는 부분이 증가하기 때문에 일어나는 것으로 해석된다. 한편 슬롯 폭이 증가함에 따라 슬롯에서 기본모드의 유효굴절률은 Fig. 4(b)와 같이 감소됨을 알 수 있는데, 이유로는 슬롯의 폭이 증가하면 광파의 많은 부분이 굴절률이 작은 슬롯 안에서 노출되기 때문에 유효굴절률이 전반적으로 감소하게 된다.

Fig. 4.

The change of (a) confinement factor and (b) effective refractive index of TE mode in slot region as the increase of slot width for various analytes (rail width = 200 nm, rail height = 320 nm).

레일 폭이 구속계수에 미치는 영향을 검토하기 위해서 슬롯 폭과 높이를 120 nm, 320 nm 각각 설정하고, 레일의 폭을 140−240 nm 범위 내에서 점진적으로 증가시키면서 앞서 언급된 분석물질들에 대해서 구속계수를 계산하였다. Fig. 5와 같이 레일 폭이 증가함에 따라 각 분석물질에 따라 어느 정도의 차이는 있지만, 레일 폭이 180−210 nm 까지는 구속계수는 증가하는 경향을 나타내고 있다. 레일 폭이 적절한 넓이에 도달될 때까지는 레일 폭이 스트립 광 도파로 역할을 하기에는 충분하지 않기 때문에 슬롯에 구속되어있는 광파들이 레일 영역을 통해서 진행하는 부분이 작고, 동시에 슬롯에 광파들이 집중되어 구속계수는 증가된다. 한편 레일 폭이 스트립 광 도파로 역할을 할 수 있을 정도로 적절한 폭 이상으로 증가되면 슬롯에 구속되어있던 광파들이 레일을 통해서 전송될 수 있기 때문에 구속계수가 다시 감소되기 시작한다.

Fig. 5.

The change of confinement factor of TE mode in slot region as the increase of rail width for various analytes (slot width = 120 nm, rail height = 320 nm).

한편 레일 높이가 광파 구속에 미치는 영향을 검토하기 위해서, 레일과 슬롯 폭을 200 nm, 120 nm 각각 설정하고, 레일 높이를 240−360 nm 범위 내에서 증가시키면서 슬롯 안에서 모드 필드가 얼마나 분포되는지를 구속계수로 검토하였다. Fig. 6은 레일의 높이가 증가 될수록 구속계수는 증가하는 것을 보여준다. 레일 높이가 높을수록 슬롯에 구속된 광파들이 상부 클래딩 영역으로 빠져나가기가 어려워서 구속계수가 증가되는 것으로 해석된다. 그러나 슬롯 광 도파로 제작공정에서 레일 높이는 식각(etching) 공정의 난이도, 공정시간 및 공정비용 등을 고려해서 적절한 수준에서 높이를 결정하는 것이 바람직하며, 여러 문헌들을 참고해서 대략 320 nm가 적절한 높이로 판단하였다.

Fig. 6.

The change of confinement factor of TE mode in slot region as the increase of rail width for various analytes (slot width = 120 nm, rail width = 200 nm).

따라서 앞서 진행된 전산해석들의 결과들을 종합적으로 반영해서, 1.5 μm 파장대역에서 최적화된 슬롯 광 도파로의 레일 폭과 높이 그리고 슬롯 폭 각각을 200 nm, 320 nm 그리고 120 nm 설정하였으며, Fig. 7은 TE 모드인 E_y(x)의 2차원 필드분포와 각 x, y 축 방향에 해당되는 필드분포를 보여준다. 예상한대로 슬롯에 모드필드가 강하게 분포되어 있으며, 구속계수는 대략 0.56 이상으로 계산되었다. 기존 SOI 및 Si₃N₄ 릿지 또는 립 광 도파로 구조에서는 상단 클래딩 영역에 나타나는 미약한 소산파만 센싱에 기여하나, 슬롯 광 도파로에서는 기본모드의 50% 이상이 슬롯을 통해서 전파되기 때문에 전자와 비교해서 매우 우수한 감지 특성을 기대할 수 있다.

Fig. 7.

The calculated two and one-dimensional mode distributions for the Ex(x, y), Ex(x, 0) and Ex(0, y) of TE fundamental mode in slot waveguide.

4. 슬롯 광 도파로 기반 바이오케미컬 센서 감지도

최적화된 슬롯 광 도파로에서 분석물질 굴절률 변화에 따라 슬롯 안에 형성된 도파모드의 유효굴절률이 얼마나 영향을 받는지를 전산해석을 통해서 검토하고, 이로부터 감지도를 평가하였다.

먼저, 슬롯 광 도파로의 레일 폭과 높이를 각각 200 nm, 320 nm로 설정하고, 슬롯 폭으로 80 nm, 120 nm, 160 nm에 대해서 분석물질의 굴절률 1.3−1.55 범위 내에서 모드의 유효굴절률 변화를 분석하였다. Fig. 8(a)와 같이 분석물질의 굴절률이 증가함에 따라 슬롯 안에 형성된 기본 도파모드의 유효굴절률은 대체적으로 선형적으로 증가함을 확인할 수 있었다. 그러나 유효굴절률 변화율로부터 아래 식 (8)을 적용해서 감지도를 평가하였는데, Fig. 8(b)와 같이 슬롯 폭 120 nm 경우에서 감지도의 편차가 약 0.015정도 수준으로 평가되었다. 비록 특정 굴절률 구간에서는 80 nm, 160 nm 슬롯 폭들이 높은 감지도를 나타내고 있지만, 전체적으로 감지도의 편차가 적은 것이 센서 기능면에서는 더 중요하다. 따라서 감지도의 수치와 편차를 동시에 고려했을 경우 슬롯 폭, 120 nm가 최적화된 것으로 평가되며, 구속계수 관점에서 수행된 최적화 과정에서 선택된 슬롯 폭과 일치됨을 확인할 수 있다.

S = ∂ n e f f ∂ n a

(8)

Fig. 8.

The change of (a) effective refractive index of TE mode and (b) sensitivity as the increase of analyte refractive index for various slot height (rail width=200 nm, rail width=320 nm).

식 (8)에서 n_eff는 기본 모드의 유효굴절률이며, n_a는 슬롯에 채워진 분석물질의 굴절률이다.

다음으로, 슬롯 광 도파로에서 슬롯 폭과 레일 높이를 각각 120 nm, 320 nm로 설정하고, 150 nm, 200 nm, 250 nm 레일 폭에 대해서 분석물질의 굴절률을 1.3−1.55 범위에서 증가시켜서 도파모드의 유효굴절률 변화를 해석하였다. Fig. 9(a)와 같이 분석물질의 굴절률이 증가함에 따라 기본 모드의 유효굴절률은 대체적으로 선형적으로 증가함을 확인할 수 있었다. 이 경우에도 감지도를 평가하였는데, Fig. 9(b)와 같이 레일 폭 200 nm 경우에서 감지도의 편차가 대략 0.01 미만으로 평가되었다. 따라서 이 경우에도 구속계수 관점에서 수행된 최적화 과정에서 선택된 레일 폭 200 nm와 일치됨을 확인할 수 있다.

Fig. 9.

The change of (a) effective refractive index of TE mode and (b) sensitivity as the increase of analyte refractive index for various rail width (slot width=120 nm, rail height=320 nm).

슬롯 광 도파로의 슬롯과 레일 폭을 각각 120 nm, 200 nm로 설정하고, 240 nm, 320 nm, 370 nm 레일 높이에 대해서 분석물질의 굴절률을 1.3−1.55 범위에서 변화시키면서 기본모드의 유효굴절률 변화를 해석하였다. Fig. 10(a)와 같이 분석물질의 굴절률이 증가함에 따라 모드의 유효굴절률은 대체적으로 선형적으로 증가함을 확인할 수 있었으며, 이 경우에도 감지도를 평가하였는데, Fig. 10(b)와 같이 레일 높이 320 nm 경우에서 감지도의 편차가 대략 0.03 내외로 우수하게 관찰되었다. 따라서 구속계수 관점에서 수행된 최적화 과정에서 선택된 레일 높이 320 nm와 일치됨을 확인할 수 있다.

Fig. 10.

The change of (a) effective refractive index of TE mode and (b) sensitivity as the increase of analyte refractive index for various rail height (slot width=120 nm, rail width=200 nm).

따라서 슬롯 광 도파로의 최적화된 제원을 슬롯에 분포된 광파모드의 비율을 구속계수로 평가하였으며, 그리고 슬롯에서 광파모드와 결합되는 분석물질의 굴절률에 따른 모드의 유효굴절률 변화와 이를 이용해서 감지도를 검증하였는데, 두 경우 모두 동일한 결론에 도달하였다. 즉 슬롯 폭과 레일 폭 및 높이를 각각 120 nm, 200 nm, 320 nm로 설정했을 경우에 구속계수는 대략 56%, 감지도는 0.9[RIU/nm] 이상으로 평가되었으며, 이를 바이오케미컬 센서로 활용할 경우 매우 우수한 특성을 기대할 수 있다 [18].

5. 결 론

SOI 슬롯 광 도파로의 TE 모드 분포를 Maxwell 파동식과 경계조건들을 적용해서 해석적으로 검토하였다. 집적광학 바이오케미컬 센서에 적합한 슬롯 광 도파로의 최적화된 제원 즉 슬롯의 폭과 레일의 폭 및 높이를 슬롯에 분포된 광파모드의 구속계수를 전산해석을 통해서 계산하였다. 또한 분석물질의 굴절률 변화에 따른 감지도를 통해서 최적화된 제원을 확인하였다. 슬롯의 폭과 레일의 폭 및 높이를 120 nm, 200 nm 그리고 320 nm 설정하였을 경우 구속계수는 대략 56%, 감지도는 최소 0.9[RIU/nm] 이상으로 평가되었으며, 분석물질의 굴절률 1.3−1.55 범위에서 감지도의 편차는 최대 0.03 이하로 평가되었다. 따라서 최적화된 수직 슬롯 광 도파로를 Mach-Zehnder 간섭기, 링-공진기, 방향성 결합기와 멀티모드 간섭기 등에 적용해서 바이오케미컬 센서를 구현할 경우 우수한 센싱 특성을 기대할 수 있을 것으로 평가된다 [24,25].

Acknowledgments

이 논문은 한국연구재단 이공학개인기초연구 (2018-R1D1A1B07049908) 연구비 지원으로 수행되었습니다.

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